晶普科技光刻装备 - 产品展示泛亚电竞

2023-04-13 10:14:01

　　微纳光学是一门研究微纳米级器件及其阵列调制光学行为的学科，该学科给传统光学带来新的思路，可以实现微小、阵列、集成、以及波面转换等新功能，并在此基础上构成多种新型系统。研究团队以国家光学工程、光电子、光通讯领域需求为背景，以系统应用为目标，自1990年开始一直致力于微纳光学领域研究。发展了多种先进的、具有特色的微纳光学系统设计方法与加工技术泛亚电竞，建立起具有自主知识产权、可独立完成微光学器件及系统设计、加工制作、检测全过程的微纳光学技术平台。获授权发明专利80余项，发表SCI论泛亚电竞文100余篇。

　　深入研究各种设计理论及方法，开发出多款专业光学设计软件，可提供全局最优设计方案。在多年实践基础上，积累多项技术并形成稳定工艺：可制备十六阶衍射器件、横向误差小于1m，深度误差小于1.5％，衍射效率高于90%。可精确控制连续表面微纳结构面形，面形误差小于3%。发展了微、纳尺度压印及紫外光固化复制技术，可以实现高保真泛亚电竞、低成本、大批量微纳结构制作。目前，已形成以微透镜列阵、位相板、衍射器件为主的系列产品，在科研、军工、工业、医疗等领域成功应用。

　　微透镜列阵元件是由通光孔径为微米级及浮雕深度为微纳米级的透镜组成的列阵，可实现聚焦、成像、准直等功能，具有单元尺寸小、集成度高等优点。主要用于Shack-Hartmann波前传感、红外焦平面探测、CCD列阵光聚能、LD整形、激光列阵扫描、激光显示、光纤耦合、光场相机、3D显示、数字无掩膜光刻（DMD）等系统。

　　研制各种基于微光学技术的波前调制器件，包括台阶型和连续表面型，具有准确、系统紧凑、方便调节等优点。拥有多种自主开发的设计软件及数据处理模块，主要包括波前转换方法，改进遗传算法及模拟退火的全局优化技术等。器件主要用于像差校正，相位模拟、非球面检测（CGH），光束控制、景深及视场调制等领域。可制备元件尺寸可达100mm，应用范围涵盖紫外到红外波段。

　　衍射光学器件在激光加工、激光光束整形、激光医疗、移动智能设备、人机自然交互体感、手姿控制系统等领域应用广泛，可实现高衍射效率、高均匀性光束变换、整形、分光及位相调制等。深入研究基于标量衍射理论的G-S算法、直接二元搜索法(DBS)、模拟退火算法(SA)、遗传算法(GA)、能量守恒算法及基于矢量衍射理论的积分法、微分法、模态法、耦合波法，开发出多款专业光学设计软件，可提供全局最优设计方案。深入开展高深宽比纳米结构的制备研究，成功实现大角度（70度）、复杂图形的设计、加工、制备。